华微电子取得石英炉管及扩散炉专利，可提高石英炉管使用寿命

金融界2025年1月25日消息，国家知识产权局信息显示，吉林华微电子股份有限公司取得一项名为“石英炉管及扩散炉”的专利，授权公告号 CN 222374836 U，申请日期为2024年5月。

专利摘要显示，本申请实施例提供一种石英炉管和扩散炉，涉及半导体制造设备技术领域。上述石英炉管包括炉管本体及热偶套管，热偶套管用于放置分布热偶。炉管本体包括相对设置的炉管尾端和炉管开口端，热偶套管包括相对设置的热偶套管底部和热偶套管开口端，热偶套管底部位于炉管本体内，热偶套管开口端位于炉管本体外，热偶套管开口端朝向炉管尾端，热偶套管的部分与炉管本体的内壁固定。通过在炉管本体内壁设置热偶套管，不仅可以用于放置分布热偶，通过分布热偶实时监测石英炉管内的反应温度，还可以在高温反应环境下为炉管上壁提供额外的支撑，提高石英炉管的结构稳定性，减小炉管本体的歪曲塌陷，提高石英炉管的使用寿命。

天眼查资料显示，吉林华微电子股份有限公司，成立于1999年，位于吉林市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本96029.5304万人民币，实缴资本21432万人民币。通过天眼查大数据分析，吉林华微电子股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目41次，知识产权方面有商标信息8条，专利信息237条，此外企业还拥有行政许可17个。

来源：金融界